26/02/14 update:

3月6日TMP修理予定なので、その前に各班3か月分試験料を用意する必要があります。

修理予定までに、TMPのヒーターは毎日6:00からON、23:59はOFFの状態で自動的に作動しているので、研究室に来る時間を自分で把握してください。

26/02/02 update:

PBIIが始動する前に、TMPを2時間以上温める必要があるので、リモートコンセントを設置しました。

もし必要があれば、成膜前日僕に連絡して、事前設定します。

成膜時間例（前日サンプル入れるの場合）：2時間温める→始動→粗引き30min→TMP始動10min→TMP切替（1時間~2時間）→成膜（普通の成膜工程）→冷却→ベント→TMP停止→終業。

成膜時間や冷却を除く、約5時間かかります。（始動→成膜可能にまでは約３時間）

26/01/20 update:

試料リストの表を追加しました。

2月末までほしい膜があれば、表に記入してください。

25/12/20 update:

Ball on diskの予定表を追加しました。

25/12/16 update:

Rtek予定表再作成しました。

現在アクセス可能になると思います。

P.S　（もし個人的のメアドで予定表をアクセスして欲しいなら、遠慮せず連絡してください。）

丹